PECVD&离子注入机尾气处理装置公告

 PECVD&离子注入机尾气处理装置招标公告

1.招标条件 

本招标项目PECVD&离子注入机尾气处理装置,招标人为******有限公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对PECVD&离子注入机尾气处理装置进行公开招标。

2.项目概况与招标范围 

项目概况与招标范围：PECVD&离子注入机尾气处理装置 CVD尾气处理装置：10台，IMP尾气处理装置：1台 

招标编号：0730-******0003-55

包名称：PECVD&离子注入机尾气处理装置

数量：CVD尾气处理装置：10台，IMP尾气处理装置：1台

简要技术要求：（1）PECVD废气处理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域，燃烧式废气处理设备用于处理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等气体； （2）废气处理设备之间的相互备用管路必须具备手动切换阀和自动切换阀； （3）进气口个数：≥8个。 

3.投标人资格要求 

3.1 投标人资格要求：（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2020年01月至今必须有同类型设备10台以上销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供业绩资料） 。同类型要求：处理容量：ARRAY CVD：≥5000 SLM,TFE&TPOT CVD≥3000 SLM,IMP：≥1500 SLM。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2 本次招标：不接受联合体投标。

3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取 

4.1 获取时间：2025-05-21 00:00至2025-05-28 23:59

4.2 获取方式：中航招标网（******）

4.3 招标文件价格：3500.00元或600.00（美元） ，售后不退。

5. 投标文件的递交及开标

5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）：2025-06-11 09:30

5.2 递交方式：电子文件递交到电子招标投标交易平台

5.3 开标方式：通过电子招标投标交易平台开标

5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。

6. 联系方式

招标人：******有限公司

地址：厦门火炬高新区(翔安)产业区翔安西路6999号

联系人：潘秋明

联系方式：0592-******-******

电子邮件：******

招标代理机构：******有限公司

地址：北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14层

联系人：张慕宣

联系方式：******529

电子邮件：******

日期 2025-05-21